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  產(chǎn)品展示  半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體晶圓全自動(dòng)插片機(jī)YTS-100R

設(shè)備概述:

該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體晶圓的清洗、脫膠以及晶圓脫膠之后的自動(dòng)插片入籃,替代傳統(tǒng)的純手工作業(yè),提高生產(chǎn)效率,減輕工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)特點(diǎn):

1.自動(dòng)化:實(shí)現(xiàn)上料自動(dòng)化,清洗自動(dòng)化,脫膠自動(dòng)化,插片自動(dòng)化。

2.低損傷性:清洗脫膠插片過(guò)程中均采用柔性接觸,避免對(duì)晶圓造成損傷。

3.易操作:設(shè)備簡(jiǎn)單易學(xué),一人即可操作。

4.穩(wěn)定性:主要元器件采用進(jìn)口原件,穩(wěn)定,耐用。

5.兼容性強(qiáng):能夠兼容12寸,8寸等規(guī)格的半導(dǎo)體晶圓。

6.追溯性:可進(jìn)行數(shù)據(jù)追溯,追溯到每棒晶圓對(duì)應(yīng)的花籃。

基本參數(shù):

1.重量:約3000KG

2.電源要求:三項(xiàng)  交流380V±15%  50/60Hz

3.氣源要求:兩組單獨(dú)氣路,干燥氣體 0.5-0.6Mpa 進(jìn)氣管管徑不小于12mm

4.設(shè)備功率:約80kw

5.片盒種類(lèi):25片塑料花籃

6.用水規(guī)格:市政用水

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